イエロールーム

①イエロールームとは
②レジスト(ポジ型・ネガ型)
③紫外線を黄色で防ぐのは何故か
④テクダイヤのイエロールーム

イエロールームとは

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(http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/~koubou/sentan.html)

イエロールームとは、クリーンルーム内で感光性物質(光の照射によって化学変化を起こす物質)が扱われるフォトリソグラフィ工程のために紫外線をカットしたエリアを言います。フォトリソグラフィとは写真現像の仕組みを応用し、パターンを製作する技術です。写真の現像は、フィルムと、感光紙と呼ばれる光によって変色する紙を重ね、光を当て化学反応を起こしますが、フォトリソグラフィでは、紫外線を使って化学反応を起こします。シリコンや、セラミックの基板上にレジスト(感光性の液体)を塗布し、紫外線を当てると、紫外線が当たった分のみ変質するという仕組みです。よってフォトリソグラフィを行う現場では蛍光灯に含まれる微量の紫外線によっても化学反応を引き起こしてしまうため、イエロールームを設け作業を行っています。

レジスト(ポジ型・ネガ型)

フォトリソグラフィの工程のひとつに「レジスト」があります。

 

図2

(基板)

図3

(レジスト塗布)

図4

(マスクを当て露光)

 

 

 

レジストは、化学的性質から、大きく2つに分けることができます。

1)光が当たると分解し、現像液に溶ける「ポジ型」

…紫外線の当たった部分がなくなる

 

図5

 

2)光が当たると重合により現像液に溶けない「ネガ型」

…紫外線の当たった部分が残る

 

図6

ここでレジストは感光材料ゆえ、太陽光や蛍光灯などの光を絶対に当てないように注意します。

紫外線を黄色で防ぐのは何故か

紫外線を避けるためには、黒が良いというイメージですが、実は黄色も紫外線にとても強いとされています。何故なら、黄色は青紫から紫外線のみを吸収し、その他波長の光はほとんど吸収しないからです。また、黄色は可視光の大部分を通し、黒や緑のよう他の色の視認性を保ち視野が狭くなりづらいためスポーツ選手や、パイロット等のサングラスに用いられることもあります。イエロールーム内では、青色が緑に見えたり、慣れない色の空間で作業するため新人エンジニアは最初苦労するエリアでもあります。

 

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テクダイヤのイエロールーム

テクダイヤの開発拠点は、本社東京都港区にあります。港区という都心ビルの2階にクリーンルームや、イエロールーム等の設備を設けているのが私たちテクダイヤのひとつの強みだと思っています。ここで新製品の開発や試作品の製作を行い、NASAやGoogleなど名だたる企業、全世界に挑戦しています。

 

参考

Weblio(http://www.weblio.jp/content/%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%88%E3%83%AA%E3%82%BD%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3)

JEITA(http://semicon.jeita.or.jp/word/word.html#key_K_R)

電光石光(http://denkou.cdx.jp/index.html)

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