目指せ製品化?!ZnO2(ジルコニア)棒を評価するお話。

ZnO2の棒 評価の概要

こんにちは☀yonaです!

 

今日は、私が入社して初めて、「評価」に携わったときの話をします。

 

テクダイヤには「射出成型機」という装置があります。

射出成型を簡単に説明すると、

材料を「溶かし」「金型に流し」「固める」成型方法です。

 

この射出成型機で成型したジルコニア棒。

ZnO2棒

 

配属から1か月。この棒を、他部署の先輩から託され

HCTのプロセスに導入できないか評価してほしい」と・・・・

 

わ、わたし、、、評価なんかできませんっっ(>_<)!!

なんて言っていられません!!

折角、任せて頂いたのだから、責任もって評価させていただきます!!!笑

 

託されたサンプルは、2回目の試作とのこと。

1回目の試作では、持っただけで分かるほどの反りがあり、使用できないと判断されたそう。

 

評価基準は、以下2点に絞った。

  1. 反り
  2. 外観

 

反り(平行度)測定

反っていると、NG!の理由のひとつに、「露光」工程が挙げられます。

反りが多いと、露光時にフォーカスが合わず、装置の停止や、エラーが発生に繋がります。

 

無題22

 

HCTでの反りの許容範囲は 「 10um 」!!!

外れてしまったらNGとなります。

 

デジタル顕微鏡を使用して、両端を結ぶ線を引きます。

その線と並行になるように、反りの頂点である、1番高いところに平行線を引いて

距離を測定します。

 

同様に、反りの少ない先端部分の測定をします。

イメージとしては、このような感じです。

sor

測定を行った結果、表のようになりました。

無題1

判定は、NG。

反りの許容は10umですが、今回測定したZnO2の棒は、30um以上ありました。

外観検査

製品を製作するに当たり、「 外観 」は重要項目です。

「 Void はないか。 」

「 エッジに欠けはないか 」

「 クラックは入っていないか 」

など、製品によって、見るべきポイント違ってきます。

 

今回は、パターニングをすることを前提とした

表面状態を確認しました。

 

A面の表面状態

ZrO2外観1-1-1(x500)

 

B面の表面状態

ZrO2外観1-2-1(x500)

 

写真で見てもわかるとおり、A面に比べ、B面のVoidが多く、

B面は、50um以上のVoidが見られました。

 

テクダイヤの外観検査基準の中で、Voidは30um以下と定められているため

外観検査も NG となります。

 

結果

今回の評価では、

(1) 反り(平行度)測定

→ NG

(2) 外観

→ NG

 

となったため、HCTのプロセスに、

このZnO2の棒を導入することはできない!

 

と判断させていただきました。

 

もし、今、同じ評価をお願いされたら、

自分の意見やアイデアもあったのかな?と思いながら

ブログを書いています・・・笑

 

テクダイヤでは、日々、いかに製品を安く作るか。

内製でできるものはないのか。

勉強しながら、技術開発に励んでいます!!

 

こんなこと、できませんか???

こんなもの、あったらいいな!!

 

絶賛、募集中です★

 

yona.

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