EDX (Energy dispersive X-ray spectrometry)

テクダイヤの開発には欠かせない成分分析。
その中でも簡易的に成分分析ができる装置【EDX】についてご紹介致します。

① EDXとは?何ができる?
② EDXでできること(成分分析:マッピング)
③ EDXでできること(成分分析:ポイントスキャン)

① EDXとは?何ができる?

EDXとは、Energy dispersive X-ray spectrometry(EDX, EDS エネルギー分散型X線分析)のこと。

簡易的な成分分析ができる装置です。

広いエネルギー範囲を測定することができるため、同時に多くの元素を分析できます。

また、エネルギー分散型のため、波長分散型のX線成分分析と比べると精度は劣ります。

 

あくまで、元素を検出するので、化合物の特定はできません。

ただ、原子数濃度からある程度予測することができます。

代表的なメーカーは、日立ハイテク、エダックスなど。

少し年配の方だと、EDXのことを「エダックス」と呼ばれる方もいます。

② EDXでできること(成分分析:マッピング)

SUSの板に、半分油性ペンで色を塗ったものを分析します。

EDX1

 

すると、下記のように

・油性ペンで塗ったところは炭素(C)

・塗っていないところは、鉄(Fe)

が、はっきりと画像に表れます。

EDX2

 

このように、どの部分にどの元素が存在するのか、分布を知ることができます。

また、全体の成分の割合を、質量%、原子数濃度で変化ができます。

 

今回は、3分ほどで測定したので、あまりマップ画像が鮮明ではありません。

段差等、電子線が入りにくいところは、感度が悪いですが、

時間をかけて測定(15分-20分程度)すると、

もう少しはっきり、分布を色分けすることができます。

③ EDXでできること(成分分析:ポイントスキャン)

③でマッピングしたデータを用いて、

部分的に成分を調べることができます。

たとえば、下記のように、③のデータに関して3つの範囲の成分をpick upします。

EDX3

 

・スペクトル1:

油性ペンで塗っていない表面からは、SUSの成分である鉄(Fe)が主成分で検出されています。

・スペクトル2:

油性ペンで塗った部分は、油性ペンの主成分である炭素(C)が主成分として検出されています。

・スペクトル3:

スペクトル3は、スペクトル2と比べ現品に少し段差があり、電子ビームがスペクトル2よりあたっていない状態です。

このような場合、スペクトル3の部分だけ拡大して、再測定することが望まれます。

EDX4

 

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