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これまでの窒化の常識を覆す新技術、「RFプラズマ窒化処理技術」とは

プラズマ窒化とは、一般的にチャンバーと呼ばれる炉の中にプラズマを発生させ、プラズマにより生成された窒素イオンを用いる窒化技術です。主に金属の表面に窒素イオンを打ち込む(侵入させる)ことで、化合物を生成し、表面硬度の上昇や耐摩耗性を向上させる表面処理のひとつです。  ... Continue Reading →
Scriber

ダイヤモンド・スクライブツールを利用した「スクライブ」とは

A)ダイシング加工(湿式) ダイシングは、水をかけながら切断する方式。工法は広く知られおり、応用技術に対して難易度は高くない。しかし、水を嫌う素材(ウェハ)に適用できない。 素材)ガラス・セラミック・ゴム・アクリル・SUS など   B)レーザーダイシング レーザーによるカットは昨今の技術であり、その分離化されたチップの断面は綺麗である。またプロセス時間が短... Continue Reading →
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超音波洗浄機とは

・・超音波とは、人間の耳に聴こえない20ヘルツ以下の低い音と、20キロヘルツ以上の高い音とされています。 人間が聞こえる音(可聴音)の周波数は、通常20Hzから20,000Hzの範囲で、可聴音を超える高い振動数の弾性振動波(音波)のことを「超音波」と呼んでいます。   また、超音波の特性は以下のようなものがあります。 (1)超音波は可聴音に比べ指向性が鋭く、周波数... Continue Reading →
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EDX (Energy dispersive X-ray spectrometry)

EDXとは、Energy dispersive X-ray spectrometry(EDX, EDS エネルギー分散型X線分析)のこと。 簡易的な成分分析ができる装置です。 広いエネルギー範囲を測定することができるため、同時に多くの元素を分析できます。 また、エネルギー分散型のため、波長分散型のX線成分分析と比べると精度は劣ります。   あくまで、元素を検... Continue Reading →
イワナ

フォトリソグラフィのいろは ~PEB編~

寒くなってきましたね。 ねねは寒いのが苦手です。   せき込む人をちらちらと見かけますので、 皆さんも体調にはお気を付けください…。   前回の記事 http://フォトリソグラフィのいろは ~ベイク編~   前回の記事では目的の異なる3つのベイク工程の内、下線の2つを紹介しましたね。   ... Continue Reading →
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たまには金属加工の話を・・・ 【旋盤加工編】

前回、大好評(笑)を頂いた「会社の測定器を使って色んなものを見てみるシリーズ」。 最近、それらの高性能測定器たちは正規の用途で使用することが多くなってしまい、 ヨーグルトのフタを解析して遊んでいる場合ではなくなってしまった・・・   今回、自分が1番よく知っている技術について紹介させて頂きたい。 ということで、今回は金属加工のお話。 最近、よく後輩から... Continue Reading →