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ベイク

フォトリソグラフィのいろは ~ベイク編~

ご無沙汰しております、ねねです。   最近、条件の見直しやら改善活動で悪戦苦闘しております。 そんな内に今年もあと二月だそうで、時の速さと秋の寒さに身が震えますね。 以前、「レジスト」というシンプルなタイトルで記事を書かせていただきました。 その記事の中で触れた「ベイク」という工程について今日は書きます。   ベイクとはなんぞや... Continue Reading →
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「Kl法」とは。問題解決に必要なのは、今までの経験やカンか?

最近受講したセミナーの話。 『KI法』による問題解決能力の向上コース。というセミナー。   あー難しそう、眠くなりそう、つまらなそうと ブログを読むのを止めようと思ったそこのあなた。   対象は主に製造業で働く人達ですが、 凄く解りやすく書いているので、読んでみて下さい。 このブログでは、KI法の考え方だけを記述する。 (次... Continue Reading →
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純水のいろいろ

ご無沙汰しております、ねねです。   先日の長期休暇の折に、富士登山に挑戦してきました。   頂上からの景色や朝焼けはとても美しく、感動しましたが、 それよりも酸素が薄いという状態をこの身で体験できたことの方が 印象深かったです。   そんな話はさておき、本題に移ります。 本日は辞書ページの第二回、“純水”... Continue Reading →
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露光とは?

みなさん はじめまして 技術部HCTチーム 入社1年目のDamienです。 今回が初めてのブログ更新となりますので自己紹介をさせてください。 名前 Damien 来歴 某高校から某大学 工学部航空宇宙学科に入学。 固体ロケットの機軸方向の音響特性の研究を行っていました。 体育会アメリカンフットボール部出身です。 今年の春にテクダイヤへ入社し技術部へ配属され... Continue Reading →
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レジスト

ねねです、どうも。   今日は辞書ページと題しまして、テクダイヤに関係する専門用語の解説記事を書いていきたいと思います。   今回のお題は”レジスト”です。 レジストは、私が普段働いているフォトリソグラフィ工程の中で使うものになります。   さて、果たしてレジストとはいったい何者なのでしょうか。 レジストとはいっ... Continue Reading →
SUS表面

SEM (Scanning Electron Microscope)

SEMとは、Scanning Electron Microscope(走査型電子顕微鏡)のこと。 SEMは10~100倍程度で観察する、理科室で使うような実体顕微鏡と違い、 1000倍、10000倍と、高倍率で試料を見ることができる顕微鏡です。 SEMは焦点深度(*)が大きく、像をはっきり立体的に観察できるのが特徴です。 *焦点深度とは、一定の解像力を維持できる光軸上の範囲... Continue Reading →