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Clean_room_for_chip_fabrication

人間に優しくないクリーンルーム環境

こんにちは!杏音です。もう少しで冬が終わると思いますが、まだ寒さと乾燥が続いていますよね!クリーンルームがかなり乾燥していますので、今回はクリーンルームの環境(温度、湿度)について少し話したいと思います! 半導体等のクリーンルームは基本的に黄色い部屋と白い部屋という二つの部屋に別れています。黄色い部屋(紫外線が入れない部屋)ではフォトレジスト関係の作業を行われており、白い部屋ではそれ... Continue Reading →