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薄膜作製工程立ち上げについて

フィリピンの朝は早い。 どうも僕です。   最近薄膜作製から評価を行っています。 薄膜工程の立ち上げをしなくてはなりません。 しかし、薄膜は下の層に大きく影響します。 所謂、配向性と言うやつですね。 結晶には、ミラー指数という面を示す値があります。 ミラー指数は、結晶の格子中における結晶面や方向を記述する指数です。 この指数方向に沿って薄膜作製時に結晶が... Continue Reading →