テクダイヤの開発には欠かせない成分分析。
その中でも簡易的に成分分析ができる装置【EDX】についてご紹介致します。
① EDXとは?何ができる?
② EDXでできること(成分分析:マッピング)
③ EDXでできること(成分分析:ポイントスキャン)
その中でも簡易的に成分分析ができる装置【EDX】についてご紹介致します。
① EDXとは?何ができる?
② EDXでできること(成分分析:マッピング)
③ EDXでできること(成分分析:ポイントスキャン)
EDXとは、Energy dispersive X-ray spectrometry(EDX, EDS エネルギー分散型X線分析)のこと。
簡易的な成分分析ができる装置です。
広いエネルギー範囲を測定することができるため、同時に多くの元素を分析できます。
また、エネルギー分散型のため、波長分散型のX線成分分析と比べると精度は劣ります。
あくまで、元素を検出するので、化合物の特定はできません。
ただ、原子数濃度からある程度予測することができます。
代表的なメーカーは、日立ハイテク、エダックスなど。
少し年配の方だと、EDXのことを「エダックス」と呼ばれる方もいます。