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図2

イエロールーム

  イエロールームとは、クリーンルーム内で感光性物質(光の照射によって化学変化を起こす物質)が扱われるフォトリソグラフィ工程のために紫外線をカットしたエリアを言います。フォトリソグラフィとは写真現像の仕組みを応用し、パターンを製作する技術です。写真の現像は、フィルムと、感光紙と呼ばれる光によって変色する紙を重ね、光を当て化学反応を起こしますが、フォトリソグラフィでは、紫外線... Continue Reading →