3Hって何?

高精度スクライブを誰でも簡単に!マニュアルスクライブの新常識「ハンドスクライバー」とは

半導体の製造過程に欠かせないウエハカット。専用装置を使用したスクライブが一般的ですが、試作などでの少量カットの場合、装置を使用しないマニュアルスクライブと呼ばれるウエハカットもあります。これまでのマニュアルスクライブでは、スクライブペンと呼ばれる工具が使用されてきましたが、精度が不十分であったり、ウエハの固定が難しかったりと多くの課題を抱えていました。今回はそんなマニュアルウエハカットの課題を解決し、人の手で装置並みのウエハカットを実現する「ハンドスクライバー」を紹介します。