「薄膜成膜技術 スパッタ法とは」
まずはスパッタ法がどのような原理であるか、最初に考え出されたDCスパッタ法を例に説明すると以下の通りとなります。 ① 基板と貴金属素材ターゲットをセットした装置を高真空状態にする ② 不活性ガス(主…
まずはスパッタ法がどのような原理であるか、最初に考え出されたDCスパッタ法を例に説明すると以下の通りとなります。 ① 基板と貴金属素材ターゲットをセットした装置を高真空状態にする ② 不活性ガス(主…
立上げ開始時は、輸出前とほぼ同じ状態で条件が出せたのですが、成膜の回数を重ねるうちに成膜レートが下がって行く現象が発生した。(2台移管して2台とも同じ現象発生)
テクダイヤへ入社して17年が過ぎた。 前職時代から取引があったので、それを含めればお付き合いは30年を超えるだろう。 ご縁とは本当にありがたいものだ。 &…