3Hって何?

露光とは?

簡単に言ってしまうと波長の短い遠紫外線を照射し、光が当たった部分だけのレジスト 膜を変質させてパターンの型を成形させる工程です。

レジスト

今回のお題は”レジスト”です。 レジストは、私が普段働いているフォトリソグラフィ工程の中で使うものになります。 さて、果たしてレジストとはいったい何者なのでしょうか。

イエロールーム

  イエロールームとは、クリーンルーム内で感光性物質(光の照射によって化学変化を起こす物質)が扱われるフォトリソグラフィ工程のために紫外線をカットしたエリアを言います。フォトリソグ…