半導体製造工程に欠かせないプローブ針(プローブニードル)とは

プローブ針は、プローバ―装置に装着され、ウェハ上に集積されたチップひとつひとつに針をあてて電気を流し、良品選別する大切な工程に使用されます。一昔前までは、PCやテレビといった電子機器に使用されることが主であった半導体ですが、近年では、IoTや5G(第5世代移動通信システム)の実現により、走る半導体と言われるようになったクルマ、監視カメラ、スマートホームなどの新たなる産業規模の拡大にて、その設備投資も拡大していると言われます。今回は、半導体産業の成長に伴い需要が見込まれるプローブ針について紹介します。

プローブ針は、プローブニードルや探針と呼ばれることもあります。先端が精巧に研磨された、針のような外観です。



先にも述べたように、プローブ針はウエハ上に集積された、半導体などのチップひとつひとつに電気試験を行い、良品・不良品を識別する工程で使用されます。プローバ―と呼ばれる装置に取り付けて使用するその針の先端は、チップにコンタクトする際、チップ電極自体にダメージや傷を与えてしまわぬよう、精巧な先端形状で製作されます。たとえば先端Rが大きければ接地面積は広くダメージや傷は付きにくかったり、小さければその逆など各社でノウハウを持ち合わせており、角度や長さも同様です。

テクダイヤではプローブ針を、材質・径（φD）・角度（θ）・長さ（L）・先端R及び形状（Detail Z）を以下の様に取り揃えてご提供いたします。また、数量や内容によってはカスタマイズもご相談下さい。

 

材質	超硬 ・ HSS ・ パラジウム合金
径	φ0.4 ・φ0.5 ・φ0.64 ・φ0.7 ・φ1.0
角度	8°・ 10°・ 15°・ 20°・ 25°・ 30°

超硬（最低ロット20pcs）

型番	直径(Ф)	先端角度(°)	先端R(μR)	長さ(L)
TGN-0001	0.4	10	30	8.9
TGN-0002	0.7	10	25	25
TGN-0003	0.7	15	25	25
TGN-0004	0.7	15	50	25
TGN-0005	0.7	20	75	25
TGN-0006	0.7	20	100	25

HSS(最低ロット 20pcs)

型番	直径(Ф)	先端角度(°)	先端R(μR)	長さ(L)
THN-0002	0.64	10	20	15

パラジウム合金（最低ロット20pcs）

型番	直径(Ф)	先端角度(°)	先端R(μR)	長さ(L)
TPN-0001	0.7	10	20-25	21.5
TPN-0002	0.7	10	20	25

半導体製造に欠かせないプローブ工程ですが、プローブ針メーカーはそう多くありません。また、大量生産ともなると、納期や品質の安定にご心配なお客様が多いようです。テクダイヤでは、半導体製造の実績もあるフィリピン工場で製造を行うため、大量注文の際にも安定した納期と品質でご提供が可能です。プローブ針に課題を抱える場合にはぜひお気軽にご相談ください。お客さまの課題に合せたソリューションをご提案します。