ナノインデンテーション法とは ~原理編~
ナノインデンテーションとは工業材料などの硬さを測定するための、【硬さ試験】と呼ばれる評価ツールの1種です。測定装置に、先端に極小のダイヤモンドを使用した突起状のダイヤモンド圧子(あっし)を取り付け、圧子を押し込むことで微小領域の硬さやヤング率を求めることができます。
硬さ試験にはいくつかの種類があり、測定する膜の材質や厚みによって試験方法を選びます。中でもナノインデンテー... Continue Reading →