2019年5月17日シングルレイヤーキャパシタースパッタ装置冷却水のスパッタレートへの影響立上げ開始時は、輸出前とほぼ同じ状態で条件が出せたのですが、成膜の回数を重ねるうちに成膜レートが下がって行く現象が発生した。(2台移管して2台とも同じ現象発生)続きを読む