クリーンルームをクリーンに保つためには?パーティクルを測定してみよう!

弊社ではクリーンルーム*¹のクリーン度を保つために必要なこととして、
クリーンルーム内への持ち込み物の制限や、時にはクリーンルーム内への人の出入りを制限したりすることも。
たとえば、普通の紙ではなく、クリーンペーパーを使用したり、雑巾は持ち込み禁止、パーティクル*²が少ないウエス(機械の汚れを拭き取ったりするための布)を使用したりしています。

ですが、パーティクルは目に見えません。実際どれくらい違うの?と疑問に思う方も多いのでは?と思い
今回は実験を行ってみました!

*¹:クリーンルーム…壁面や空気中に存在するちりの数や量を少なくするように管理してある部屋。高精密を要する部品・IC加工などに利用される。防塵 (ぼうじん) 室。無塵室。
*²:パーティクル…《「パーチクル」とも》微小なもの。小片。細片。粒子。
出典:デジタル大辞泉(小学館)

実験内容

実験場所:テクダイヤ本社内クリーンルーム

使用機器:パーティクルカウンター

使用機器メーカー:リオン株式会社

型番:KR-12A

試料流量:2.83L/min

1回の測定時間:20秒

作業者:ミルルン

服装:クリーンスーツ、クリーンマスク、クリーンルーム用手袋着用

実験日:2019年8月5日及び6日

 

実験内容一覧表

キャプチャ

 

実験結果

さて、実験した結果の一覧が以下の表です。

 

図1

※今回はパーティクルの合計数のみで話しを進めたいと思います。

 

結果・考察

 

①クリーンルーム用のものとそうでないものでは、パーティクルに大きな差がある。

クリーンペーパーのパーティクル合計数が34だったのに対し、普通の紙のパーティクルは413と、10倍以上の差があった。

また、クリーンルーム用のノートはパーティクル37に対し、普通のノートはパーティクル3838なので、100倍以上の差があることが分かった。

このことから、クリーンルーム用に作られたものはパーティクルの数量が低いことがわかります。

 

②ぞうきん持ち込み禁止!

今回の実験では、ぞうきんが群を抜いてパーティクル数が多い結果となりました。

ぞうきん一枚から、8919ものパーティクルがでています。

このことから、クリーンルーム内にぞうきんを持ち込むことが危険だということがわかります。

 

③人からも多くのパーティクル発生

実験結果から、人からもパーティクルが多く出ていることがわかります。

そして、今回の実験では、手袋をしているかしていないかで、パーティクル量に約3倍の差がありました。

 

④油回転真空ポンプ稼働時のポンプ付近のパーティクルが大変なことに!

油回転真空ポンプを作動させた時とさせない時でも大きな差がありました。

回転をオンにした場合のパーティクルが611なのに対して、

ポンプをオフにして数分待った後に測定すると、パーティクルは10にまで下がりました。

これは油回転真空ポンプから目には見えない微粒子のオイルが舞っているために、

パーティクルが増えているのです。

 

ということで、様々なものをクリーンルームに持ち込んではいけないことは知っていましたが、

実際どれくらいパーティクルがでるのかは知りませんでした。

 

結果、ぞうきんや普通の紙は持ち込むと、

パーティクルの量が大変なことになることがわかりました笑

 

みなさんもクリーンルームに入る際は持ち物に気をつけましょう!!

(実験で使用したサンプルの保存状態等でも実験結果は変わります)

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