3Hって何?
技術

露光とは?

簡単に言ってしまうと波長の短い遠紫外線を照射し、光が当たった部分だけのレジスト 膜を変質させてパターンの型を成形させる工程です。

技術

レジスト

今回のお題は”レジスト”です。 レジストは、私が普段働いているフォトリソグラフィ工程の中で使うものになります。 さて、果たしてレジストとはいったい何者なのでしょうか。

技術

SEM (Scanning Electron Microscope)

SEMとは、Scanning Electron Microscope(走査型電子顕微鏡)のこと。 SEMは10~100倍程度で観察する、理科室で使うような実体顕微鏡と違い、 1000倍、10000倍と、高倍率で試料を見ることができる顕微鏡です。