3Hって何?
技術

Graphene

グラフェンはグラファイト(炭素)の同素体です。 "この材料は原子1個分の厚みのカーボンシートで、シートの集合体が鉛筆の芯 の材料であるグラファイトです。

技術

露光とは?

簡単に言ってしまうと波長の短い遠紫外線を照射し、光が当たった部分だけのレジスト 膜を変質させてパターンの型を成形させる工程です。

技術

レジスト

今回のお題は”レジスト”です。 レジストは、私が普段働いているフォトリソグラフィ工程の中で使うものになります。 さて、果たしてレジストとはいったい何者なのでしょうか。